tzxnef就是用getter。在一定温度下，吸气剂可以吸收氮气、氢气、氧气、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等气体。经吸收处理后，氩气纯度可达6.9%。这种保护气体更适合制作高纯度半导体单晶硅。
通过吸气剂净化的氩气纯度:
氧气≤0.2ppm
H2≤0.5ppm
N2≤1ppm
一氧化碳+二氧化碳≤0.5ppm
CH4≤0.5ppm
水分≤1ppm
一种方法设备投资少，脱氧剂在设备中的使用寿命一般在四年以上。
氩气瓶柜的特点:
采用冷轧板制成，经过酸洗磷化处理，环氧树脂粉末喷涂，180℃高温固化成型，耐强酸强碱。
柜体装有气瓶箍，可防止气瓶倾倒。它由5毫米厚的平板玻璃制成。
氩气瓶柜产品附件:
报警:采用专用可燃气体探测器。
柜内有排气系统，配合报警装置，一线联动。报警后5秒内排气装置会自动启动。稀释可燃气体浓度至低于切屑点设定值。
活动翻板采用钢板表面磷化处理。
钢板的磷化处理。
氩气泄漏的处理措施。
迅速将泄漏污染区的人员撤离至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急响应人员穿戴自给式正压呼吸器和普通工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。泄漏的容器应在使用前进行适当的处理、修理和检查。